진공펌프의 종류

▣ 진공펌프 란? 

진공펌프

    - 밀폐된 용기 속의 공기를 뽑아 진공 상태를 만드는데 쓰는 펌프로써 왕복형과 

      회전형으로 분류된다.

▣ 진공펌프의 종류

    1) 왕복형 진공펌프(Reciprocating type vacumm pump)

        - 실린더의 용적이 압축기에 비하여 크다는 것 외에는 압축기와 특별할 구조상의 

          차이는 없고 최고로 도달할 수 있는 진공도는 고성능일 때 99%에 달한다.

    2) 루츠식 진공펌프(Roots type vacuum pump)

        - 구조와 원리는 압축기와 거의 같고 고속 회전이 가능하며 배기량이 500㎥/min

           정도의 대용량도 가능하다.

    3) 액봉식 진공펌프(Water ring type vacuum pump)

        - 액봉식 진공펌프는 Nush 진공펌프라고도 하며, 최고 진공도는 600~650mmHg이다.

          실린더에 대하여 축이 편심된 회전차가 회전하며 순환류의 자유면으로 이루어진 체적의 

          반은 팽창되고 반은 압축되면서 저압부와 고압부가 형성된다.

    4) 유회전식 진공펌프(Oil sealed rotary type vacuum punp)

        - 유회전식 진공펌프는 케이싱 내에 소량의 기름을 봉입하여 접동부 사이에 유막을 형성시켜서 

          기체의 누설을 방지함으로써 고진공도를 얻을 수 있도록 되어있다. 1단식으로는 10-2mmHg,

          2단으로는 10-3mmHg의 진공도에 달할 수 있다.